某半导体设备造成工厂因晶圆除垢制作工序造成含氨废渣,储水量200吨/天。废渣中除挥发酚外还含氟化物和微量分析血本属,治疗分值大。是时间排放出标准单位标准挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣物质及来源地
晶圆清理废水处理方法(关键起源):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀流程废液:含氢化物发生器铜、镍等血本属,pH值上下波动大
CMP磨研电镀废水:含硅小粒及化学需氧量
治理的工艺程序
采用了"催化结晶+膜拆分+折点氯化"乐队组合鑫霖环保:
预整理
:添加CaCl2除氟,掌控pH在7.5-8.
反渗透装置系統
:剔除0.01μm上面粒子物
反渗透装置工作会更浓缩液
:将化学需氧量沉淀至1000mg/L上
折点氯化
:准确度调整氯添加量,将氧化还原电位生成为离氮气
亚铁离子调换
:有保障高价属合格
最终能够效用
高锰酸盐指数增强<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含锌量低过探测限
水工业废水处理率达75%
厌氧颗粒污泥形成量抑制40%