某半导体设备鑫霖环保芯片造成厂在晶圆处置工作中,采用硅烷开始硅概念发展,废气排放洗衣塔呈现高渗透压含硅生产废水处置具体方法。生产废水处置具体方法兼具pH下跌大(2-11)、硅水平高的优点和缺点,传统艺术处置具体方法易有硅垢淤塞间题。
废水处理含量及源
废液注意材料为:
溶水性硅酸盐
:SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L
磷酸/氢被氧化钠
:洗衣剂塔酸碱度洗衣剂液留
颗料硅
:微米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:原材其它杂物进入
除理新工艺方案
改革创新分为"多级与+膜过滤装置+汽化析出"工艺设计:
四级采和
:用CaO调低pH至4-5,转为硅酸钙沉积,硅清除率60%。
2级中合
:加Na₂CO₃将pH升级至9,更进一步一个脚印凝固超过硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜装置
:0.02μm瓷质膜净化纳米技术级硅顆粒,通量维持在80LMH。
MVR挥发器
:果汁高盐电镀废水,晶粒出Na₂SO₄副好产品,水回收率超90%。
不可能成效
总硅从1500mg/L下降5mg/L下面的
砷分子量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
操作系统无积垢行驶超2年
每一年收集浓盐酸钠尖晶石约800吨