工程项目视频背景
某特大型半导体设备加工客户坐落在长半圆沿海地区,包括制作晶圆和鑫霖环保芯片。在制作操作过程中,晶圆分割和抛光净化处理分阶段存在大批磨研液废渣,每日排缩量上涨量约50吨。致使废渣中富含高氧化还原电位漂浮物、金属制正离子及生产增加剂,随便排缩量上涨会对大环境出现造成污染问题,客户急要发展行业净化处理基础设施。
废污水因素及来源于
磨研液污水注意收入于晶圆制造中的生物学机制打磨(CMP)工艺流程,注意污染问题物包扩:
悬浮物湿润颗粒物物
:二腐蚀硅、腐蚀铝等磨细颗粒状,颗粒直径在0.1-1μm,氧化还原电位敢达2000mg/L。
金属质铁离子
:铜、铁、锌等,发源cnc精密机械加工垫刹车盘磨损及晶圆漆层废金属层,铜铝离子溶度约50mg/L。
生物碳加上剂
:其中包括外表面可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强碱性食物有机化合物
:pH值变化大,一般而言在2-11当中。
治理 施工工艺工艺步骤
对于电镀废水特征,所采用“工艺技术治疗+生物化学+深入治疗”搭配工艺技术:
调接池
:均衡教育水环境发电量,加上碱酸上下调整pH至普通。
混疑析出
:加药系统PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),清理悬停物和氢氧化铁,沉降后SS清理率>90%。
催化剂的作用阳极氧化
:采用了Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机质“食用香精,COD除去率达60%。
生物技术操作
:MBR膜菌物影响器进第一步降解塑料余下有机质物,COD减至100mg/L以上。
化合物互相交换
:多功能聚酯树脂气体吸附铜阳离子,喷水铜含量<0.5mg/L。
砂滤+活性氧炭进行过滤
:确定喷水纯净,提升《水量基础性排放量规范细则》(GB8978-1996)两级规范细则。
终于疗效
软件进行维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
工业废水处理工艺处理率达40%,余量达到的排放量,年可以减少废水处理工艺的排放量1.6万吨。
加工处理人工成本约15元/吨,远压低制造业差不多。